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下述哪些措施可以有效消除沟道效应（）
A.大剂量注入
B.降低靶温
C.增大注入的倾斜角度
D.增加靶温
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单项选择题
离子注入机中，偏束器的作用是（）
A.加速
B.产生离子
C.消除中性离子
D.注入扫描
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单项选择题
下列哪种物质是磷扩散时的固态杂质源？（）
A.BBr
3
B.POCl
3
C.PH
3
D.偏磷酸铝
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