A.2族金属 B.碱金属 C.合金金属 D.稀有金属
A.气体 B.等离子体 C.固体 D.液体
A.1 B.4 C.3 D.2
A.蒸镀 B.溅射 C.离子注入 D.CVD
A.温度 B.硅-二氧化硅界面处的化学反应 C.氧的扩散速率 D.压力