半导体芯片制造工半导体芯片制造中级工填空题每日一练(2019.05.10)

填空题
半导体中的离子注入掺杂是把掺杂剂（）加速到的需要的（），直接注入到半导体晶片中，并经适当温度的（）。
答案：离子；能量；退火处理
填空题
抛光片的质量检测项目包括：几何参数，直径、（）、主参考面、副参考面、平整度、弯曲度等；（），电阻率，载流子浓度，迁移率等；晶体质量，晶向，位错密度。
答案：厚度；电学参数
填空题
全定制、半定制版图设计中用到的单元库包含（）、（）、（）和（）。
答案：符号图；抽象图；线路图；版图
填空题
在半导体工艺中，硫酸常用于去除（）和配制（）等。
答案：光刻胶；洗液
填空题
对标准单元设计EDA系统而言，标准单元库应包含以下内容：（）、和（）、（）、（）。
答案：逻辑单元符号库；功能单元库；拓扑单元库；版图单元库