C.机械加工系统 B.控制系统物 C.质量保证子系统d.监控系统
a.离子束刻蚀、激光刻蚀 b.干法刻蚀、湿法刻蚀 c.溅射加工、直写加工
A.直线电机 B.滑动丝杠传动机构 C.摩擦传动机构
A.制造资源计划 B.物料需求计划 C.企业资源计划 D.产品数据管理
A.工程设计自动化子系统、管理信息子系统; B.制造自动化子系统、质量保证子系统 C.计算机网络子系统、数据库子系统