集成电路技术名词解释每日一练(2019.07.09)

名词解释
直流辉光放电
答案：
在直流稳定电场作用下产生的气体放电现象。
名词解释
溅射镀膜
答案：溅射镀膜是利用电场对辉光放电过程中产生出来的带电离子进行加速，使其获得一定的动能后，轰击靶电极，将靶电极的原子溅射出来，...
名词解释
微电子
答案：
微型电子电路。
名词解释
杂质固溶度
答案：
在平衡条件下，杂质能溶解在硅中而不发生反应形成分凝相的最大浓度。
名词解释
饱和蒸气压
答案：
在一定的温度下，真空室内蒸发物质的蒸气与固态或液态平衡时所表现出来的压力。