A.渐近角 B.偏折角 C.散射角 D.入射角
A.刻蚀速率 B.选择性 C.各向同性 D.各向异性
A.等离子体刻蚀 B.反应离子刻蚀 C.湿法刻蚀 D.溅射刻蚀
A.单晶硅刻蚀 B.多晶硅刻蚀 C.二氧化硅刻蚀 D.氮化硅刻蚀
A.LVD B.PED C.CVD D.PVD
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