A.台阶仪 B.干涉显微镜 C.光切显微镜 D.扫描电镜 E.椭偏仪
A.钟罩 B.蒸气源加热器 C.衬底加热器 D.活动挡板 E.底盘
A.硼 B.锡 C.锑 D.磷 E.砷
A.薄膜成长 B.蒸发 C.薄膜沉积 D.溅射 E.以上都正确
A.产生一个离子并导向靶 B.被轰击的原子向硅晶片运动 C.离子把靶上的原子轰出来 D.经过加速电场加速 E.原子在硅晶片表面凝结
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