A.微进给 B.误差补偿 C.精密调整 D.精加工 E.抛光
A.激光器 B.光学系统 C.机械系统 D.控制系统 E.加温系统
A.超精密加工机理与工艺方法 B.超精密加工机床设备 C.超精密加工工具 D.测量补偿 E.误差补偿
A.尘埃微粒 B.温度 C.压力 D.流速 E.气流
A.恒温 B.恒湿 C.防振 D.超净 E.噪声