入射电子束和薄晶体样品之间相互作用后,样品内不同部位组织的成像电子束在像平面上存在强度差别的反映。
为了分析样品上的一个微小区域,在样品上放一个选区光阑,使电子束只能通过光阑孔限定的微区,对这个微区进行衍射分析。
入射电子与固体作用后又离开固体的电子。