真空镀膜操作员问答题每日一练(2020.05.31)

问答题
简述在镀膜过程中产生杂质的原因和对策？
答案：对策
1.电子枪周围没有打扫干净用吸尘器、百洁布等清冼电子枪部件
2坩锅没有清冼干净坩锅边缘用百洁布...
问答题
沉积的薄膜有内应力的存在，其来源为何？
答案：
（1）薄膜和基材之间的晶格失配
（2）薄膜和基材之间的热膨胀系数差异
（3）晶界之间的互挤
问答题
蒸镀的加热方式包括几种？各具有何特点？
答案：加热方式分为：电阻加热、感应加热、电子束加热、雷射加热、电弧加热
各具有的特点：
（1）电阻加热：这...
问答题
钻石薄膜通常可使用哪些方法来获得？
答案：近年来膜状的钻石合成技术突飞猛进。钻石膜的厚度，可自奈米至毫米。薄膜常以物理气相沉积的方法生成。厚膜则多以化学气相沉积的...
问答题
写出镀膜过程应注意哪些参数变化？
答案：镀膜过程中应注意真空度是否稳定、光量走值是否平滑无波动、蒸发速率稳定在设定范围内、电子枪能量是否稳定、离子源的各参数变化...