集成电路工艺原理名词解释每日一练(2020.06.02)

名词解释
SOI
答案：
绝缘层上进行硅的异质外延。
名词解释
杂质固溶度
答案：
在平衡条件下，杂质能溶解在硅中而不发生反应形成分凝相的最大浓度。
名词解释
异质外延
答案：
外延层与沉底的材料不同。
名词解释
湿法腐蚀
答案：
通过使用特定的溶液与需要被腐蚀的薄膜材料进行化学反应，进而除去没有被光刻胶覆盖区域的薄膜。