问答题

【简答题】简述硅气相外延的过程？

答案：

在气相外延生长过程中，有两步：
质量输运过程－－反应剂输运到衬底表面
表面反应过程－－在衬底表面发生化学反应释放出硅原子

你可能感兴趣的试题

【简答题】简述外延的分类？

答案：

【简答题】什么叫做外延？外延有哪些特点？

答案： ①定义：在单晶衬底上新生一层单晶膜的技术。
以气相外延为例，则是含外延层材料的物质以气相形式流向衬底，在高温下...