超精密机床的进给系统由哪几个功能单元组成？

在电火花成形机床中，（）是最关键的部件，对加工工艺指标的影响极大。

在刚玉类磨料中，以（）最好。

下列电火花加工用脉冲电源中，哪个电源稳定性最差（）。

电解珩磨

在进行电解加工时，工件的重复精度受工具电极进给速度的影响，一般机床的进给速度变化率应小于（）。

纳米级表面物理力学性能检测的内容是什么？

衡量电解液加工精度高低的指标是（）。

多齿分度盘的齿数为1440，则其分度增量是（）。

电解加工时，一般不直接用做金属加工，而只用于加工铜、钼和钨时作为添加剂使用的电解液是（）。