问答题

【简答题】简述任何CVD所用的反应体系，都必须满足的基本条件？

答案：（1）在沉积温度下，反应物必须有足够高的蒸气压，要保证能以适当的速度被引入反应室
（2）反应产物除了所需要的沉...

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【简答题】简述CVD反应的基本类型？

答案：

A.热分解反应
B.还原或置换反应
C.氧化或氮化反应
D.歧化反应

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答案：产生射频放电时，外加电压的变化周期小于电离和消电离所需时间（一般在10^-6秒左右），等离子体浓度来...