下列的材料选项中哪个可选作测量平台的制作材料（）。

在测量精密轴系地回转误差时，需采用误差分离技术，为什么？

电解珩磨

多齿分度盘的齿数为1440，则其分度增量是（）。

电化学机械复合加工

金刚石晶体面网间距分布不均匀的是（）晶面。

下列四个砂轮修整方法选项中，哪个修整方法具有整形和修锐两个功能（）。

超精密机床的进给系统由哪几个功能单元组成？

喷油嘴、微型轴承、仪表齿轮、手表整体机芯、印刷电路板、集成电路微电子器件等的清洗，常采用什么方法可获得好的效果？

下列超精密机床主轴部件中，受温升影响主轴精度最大的轴承是（）。