比较微电子机械系统与传统机械系统？

问答题比较微电子机械系统与传统机械系统？

1.问答题简述超声波传感器的系统组成及工作原理？

2.问答题简述传感器的静态特性和动态特性？

静态特性：是指被测量的值处于稳定状态时的输出与输入关系。
动态特性：是指其输出对随时间变化输入量的响应特性。

3.问答题简述传感器的基本原理及组成？

基本原理：把特定的被测信号，按一定规律转换成某种可用信号输出。
组成：敏感元件及转换元件

4.填空题传感器信号处理的主要目的是，根据传感器输出信号的特点采取不同的信号处理方法来提高测量系统的（）和（）。

5.填空题超声波传感器的主要性能指标有（）、（）和（）。

6.填空题湿度传感器按照结构分类法可分为（）和（）两种基本形式，其湿度传感器的敏感元件分别为（）和（）。

7.填空题传感器的输出量对于随时间变化的输入量的响应特性称为传感器的（），衡量静态特性的重要指标是（）、（）、（）和（）等。

8.填空题传感器是一种能把特定的（），按一定规律转换成某种可用（）的器件或装置，以满足信息的传输、处理、记录、显示和控制等要求。（）与（）是传感器的两个基本元件，

9.单项选择题在微电子机械系统（MEMS）中，材料以（）为主。

A.硅
B.钨
C.铁
D.钼

10.单项选择题具有很高的线性度和低的温度漂移的传感器是（）。

A.温度传感器
B.智能传感器
C.超声波传感器
D.湿度传感器