填空题

离子注入在衬底中产生的损伤主要有（）等三种。

答案：点缺陷、非晶区、非晶层

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常规平面工艺扩散工序中的恒定表面源扩散过程中，杂质在体内满足（）函数分布。常规平面工艺扩散工序中的有限表面源扩散过程中，杂质在体内满足（）函数分布。

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制备SiO₂的方法有（）、（）、（）、（）、（）等。

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