超精密机床的进给系统由哪几个功能单元组成？

下列电火花加工用脉冲电源中，哪个电源稳定性最好（）。

下列哪种电火花加工电源主要用于冲模类穿孔加工等精加工场合（）。

电解珩磨

电解研磨

纳米级表面物理力学性能检测的内容是什么？

多齿分度盘的齿数为1440，则其分度增量是（）。

简述涂镀加工的工艺过程？

影响电解抛光质量的因素有哪些？

在进行电解加工时，工件的重复精度受工具电极进给速度的影响，一般机床的进给速度变化率应小于（）。