问答题

【简答题】为适应CVD技术的需要，选择原料、产物及反应类型等通常需满足什么要求？

答案：（1）反应剂在室温或不太高的温度下最好是气态或有较高的蒸汽压而易于挥发成蒸汽的液态或活固态物质，且有很高的纯度；

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