常用的超声变幅杆有（）、（）、（）及（）等形式。

填空题常用的超声变幅杆有（）、（）、（）及（）等形式。

1.判断题离子束曝光，即用在大规模集成电路制作中，与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

2.判断题由于加工时的金属蒸汽会影响电子和离子发射，产生不稳定现象，所以在加工过程中，需要利用真空吸力，不断地把所产生的金属蒸汽抽出去。

3.判断题只有在较高的真空条件中，电子和离子才能高速运动。

4.判断题离子注入的能量远低于离子刻蚀和离子溅射沉积。

5.判断题离子溅射镀膜与离子镀过程原理是一样的。

6.判断题离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比电子束高，但表面粗糙度稍差。

7.判断题离子束加工和电子束加工类似，主要是利用高速运动的离子撞击工件表面转换成热能来蚀除金属。

8.填空题通常所说的“三束加工”（高能束）是指（）和（）

9.填空题（）加工是目前特种加工工艺方法中最精密、最微细的加工方法。

10.填空题离子束撞击工件将引起变形、分离、嵌入、破坏等（）作用，而不像电子束是通过（）效应进行加工。