填空题凡能产生真空的设备称为真空泵。常用的真空泵有:(1)()泵,能产生()Pa~()Pa的()真空;(2)()泵,它必须用()泵作为前级泵,可获得()Pa~()Pa的()真空;(3)()泵和(4)()泵,两者串联可获得()Pa的()真空。
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