简述溅射的优缺点。_考试资料网

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问答题简述溅射的优缺点。

参考答案：

优点：①台阶覆盖能力好；②能沉积金属合金；③能进行原位溅射刻蚀。
缺点：溅射速率低，金属膜含氩。

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