问答题

【简答题】氧化硅的主要作用有哪些？

答案：（1）在MOS电路中作为MOS器件的绝缘栅介质，器件的组成部分
（2）扩散时的掩蔽层，离子注入的（有时与光刻胶...

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答案：前工序：
（1）图形转换技术：主要包括光刻、刻蚀等技术
（2）薄膜制备技术：主要包括外延、氧化、化学...

【简答题】简述反应离子刻蚀。

答案：通过活性离子对衬底的物理轰击和化学反应双重作用刻蚀。具有溅射刻蚀和等离子刻蚀两者的优点，同时兼有各向异性和选择性好的优点...