扫描探针显微镜的一种，用细小的探针在样品表面进行扫描，通过检测针尖和样品间隧道效应电流的变化形成物像。

通过在物体表面移动一种敏锐的探针来研究表面特征的显微镜（如扫描隧道显微镜）。

这种电子显微镜用电子束扫描样品表面，收集从表面发出的二次电子形成样品的表面图像。

能辨析两点之间最小距离的能力，距离越小，分辨率越高。

决定显微镜物镜分辨率性能物理指标，取决于物镜的镜口角和玻片与镜头间介质的折射率。

这种显微镜用紫外线或蓝紫光照射经过荧光染料染色的样品，然后观察激发出的荧光所形成的物像。

这种显微镜的照明方式为透射照明，即光线直接进入视野，在一个相对明亮的背景中形成一个暗的物像。