常用的超声变幅杆有（）、（）及（）三种形式。

填空题常用的超声变幅杆有（）、（）及（）三种形式。

1.填空题激光加工设备主要包括电源、（）、（）、（）、（）、冷却系统等部分。

2.填空题实现超精密加工的技术支撑条件主要包括：（）、（）、（）、（）、高质量的工件材料、超稳定的加工环境条件等。

3.填空题电火花型腔加工的工艺方法有：（）、（）、（）、简单电极数控创成法等。

4.填空题电火花加工按工件和工具电极相对运动的关系可分为：电火花（）、电火花（）、电火花（）、电火花（）、电火花表面强化和刻字等类型。

5.填空题影响电火花加工精度的主要因素有：（）及其一致性、（）及其稳定性和（）。

6.填空题电火花加工型腔工具电极常用的材料有：（）、（）、（）等。

7.填空题实现超精密加工的关键是（），对刀具性能的要求是：（）、（）、刀刃无缺陷、与工件材料的抗粘接性好，摩擦系数低。

8.填空题超声波加工主要是利用（）作用来去除材料的，同时产生的液压冲击和空化现象也加速了蚀除效果，故适于加工（）材料。

9.填空题目前金刚石刀具主要用于（）材料的精密与超精密车削加工，而对于（）材料的精密与超精密加工，则主要应用精密和超精密磨料加工。

10.填空题电火花加工蚀除金属材料的微观物理过程可分为（）、（）、（）和（）四个阶段。