大规模集成电路的微细制作方法有（），（），（），（），（）。

填空题大规模集成电路的微细制作方法有（），（），（），（），（）。

1.填空题虚拟制造技术是以（）、（）、（）为支持，在产品设计或制造系统的物理实现之前，就能使人体会或感受到未来产品的性能或者制造系统的状态，从而可以作出前瞻性的决策与优化实施方案。

2.填空题快速原型制造常用的工艺方法（），（），（），（）。

3.填空题超高速机床主轴的结构常采用交流伺服电动机内置式集成结构，这种主轴通常被称为（）。

4.填空题绿色制造技术是指在保证产品的功能、（）、成本的前提下，综合考虑环境影响和（）的现代制造模式。

5.填空题微细加工中的三束加工是指（），（），（）。

6.填空题先进制造基础技术的特点除了保证优质、（）、低耗外，还应包括（）。

7.填空题先进制造技术包含（）、（）和（）三个技术群。

8.问答题简述影响机械加工精度的工艺因素。

9.问答题简述获得形状精度的方法。

1.仿形法2.成形运动法3.非成形运动法

10.问答题简述获得尺寸精度的方法。

1.试切法2.定尺寸刀具法，3调整法4.数控加工