超声波发生器、超声振动系统、机床、磨料工作液及其循环系统。应用型腔抛磨加工、超声清洗、超声波复合加工。

频率超过16000HZ的声波超声波加工是利用工具端面作超声振动通过磨料悬浮液加工脆性材料的一种加工方法。

超微机械加工、光刻加工、体刻蚀加工、面刻蚀加工、LIGA技术、封接技术、分子装配技术。

光敏液相固化法、选区片层粘结法、选区激光烧结法。

包括了所有能使零件成形、位置和尺寸精度到微米和亚微米范围的机械加工方法。

法受迫成形、去除成形、堆积成形