A.投影式同接触式相比,掩模版的利用率比较高 B.接触式的分辨率优于接近式 C.接近式的分辨率受到衍射的影响 D.投影式曝光系统中不会产生衍射现象 E.投影式曝光是目前采用的主要曝光系统
A.光学曝光 B.离子束曝光 C.接近式曝光 D.电子束曝光 E.投影式曝光
A.热空气对流法 B.真空热平板传导法 C.红外线辐射法 D.射频感应加热法