单项选择题

用真空蒸发与溅射法在硅片或二氧化硅膜上涂敷金属材料，是形成电极的（）。

A.重要步骤
B.次要步骤
C.首要步骤
D.不一定

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多项选择题

为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求，金属材料应该满足（）。

A.低电阻率
B.易与p或n型硅形成欧姆接触
C.可与硅或二氧化硅反应
D.易于光刻
E.便于进行键合

单项选择题

（）是通过把被蒸物体加热，利用被蒸物在高温时的饱和蒸汽压来进行薄膜沉积的。

A.蒸镀
B.溅射
C.离子注入
D.CVD