问答题

【简答题】简述离子注入设备的主要组成部分

答案：气体系统、电机系统、真空系统、控制系统、射线系统、电荷中性化系统、晶圆处理系统

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【简答题】简述离子注入工艺在元器件中的应用

答案：（1）阱区注入。
（2）对重度阱区注入，抑制结击穿效应。
（3）调整阈值电压。
（4）多晶...

【简答题】离子注入后为什么要进行热退火

答案：离子注入的过程中，离子与晶格原子碰撞会使原子从晶格的束缚能中释放出来。热退火可以修复单晶结构并激活掺杂物。