判断题镀层增宽可以完全避免。
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5.判断题侧蚀情况是可以完全避免的。
8.多项选择题在酸性氯化铜蚀刻液体系的再生方法中,由于氯气是强氧化剂,直接通氯气是再生的最好方法。是因为()。
A.成本低
B.再生速率快
C.无污染
D.设备简单
9.多项选择题在酸性氯化铜蚀刻过程出现抗蚀剂破坏的原因可能有()。
A.溶液温度过高
B.溶液被污染
C.显影有余胶
D.传递速度过快
10.多项选择题影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面()。
A.等离子体蚀刻系统的形态
B.等离子体蚀刻的参数
C.光刻胶
D.待蚀刻薄膜的淀积参数条件
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