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【简答题】良好的薄膜须具备哪些特性?影响的因素有哪些?
答案:
通俗的定义为在正常状况下,其应用功能不会失效。想要达到这个目的,一般而言这层薄膜必须具有坚牢的附着力、很低的内应力、针孔...
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【简答题】何为化学气相蒸镀(CVD)?主要的优缺点有哪些?
答案:
化学气相蒸镀乃使用一种或多种气体,在一加热的固体基材上发生化学反应,并镀上一层固态薄膜。
优点:
(...
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【简答题】使用CVD法成长钻石薄膜,氢元素和碳元素的浓度有何重要性?
答案:
CVD生长钻石膜的瓶颈乃在避免碳氢化物形成石墨,因此氢原子应比碳源多很多。碳源浓度决定了钻石膜的生长速率,但碳源太高时氢...
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