问答题

【简答题】紫外线光致分解沉积系统的优点是什么？

答案：

（1）真空紫外线可以在没有任何吸收损失的条件下被直接引向窗口；
（2）在窗口处可避免薄膜沉积；
（3）没有光线直接到达基片。

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