问答题

【简答题】为何在离子注入后，需要热处理（ Thermal Anneal）的工艺？

答案：

①为恢复经离子注入后造成的芯片表面损伤；
②使注入离子扩散至适当的深度；
③使注入离子移动到适当的晶格位置。

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【简答题】简述Spacer的主要功能？

答案：

①使高浓度的源/漏极与栅极间产生一段LDD区域；
②作为Contact Etch时栅极的保护层。

【简答题】何谓Spacer? Spacer蚀刻时要注意哪些地方？

答案：在栅极(Poly)的两旁用dielectric（介电质）形成的侧壁，主要由Ox/SiN/Ox组成。蚀刻spacer 时要...