多项选择题

减薄工序造成混批的因素有哪些（）。

A.来料时晶圆表面的晶圆批号与《晶圆管制卡》不一致
B.卡物分离
C.非混合批整批中晶圆表面有不同批号的晶圆
D.同一型号不同工单号的晶圆放在一起

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B.返工
C.交付生产线
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关于减薄首磨定义，正确的有哪些（）。

A.交接班
B.停机
C.死机
D.修机