问答题

【简答题】旋片泵的极限真空决定于什么？

答案：

旋片泵的极限真空决定于转子和泵腔及旋片所形成的有害空间

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【简答题】如何评价泵的基本性能？

答案：

①抽气速率
②极限压强
③最大工作压强
④可运用范围
对于超高真空范围内的泵还需要考虑对不同气体的抽速和残余气体的成分。

【简答题】辉光放电的等离子区中电离度是多少？

答案：

辉光放电的等离子区中电离度约10^-4数量级。