光刻加工可分为两个加工阶段，第一阶段为原版制作，生成工作原版或工作掩膜，为光刻加工时用；第二阶段为光刻。
最新试题
哪种成型工艺不需要激光器？（）
CAD是现代设计的主体技术，其主要功能不包括（）
并行工程的内涵为（）
敏捷制造模式下的动态联盟是一种（）
根据系统柔性度，下列自动化自动制造系统最低的是（）
LIGA是一种全新的微细加工技术，可以进行批量化生产，其工艺包括（）
对虚拟制造论述不正确的是（）
PDM是一种软件系统，是（）
柔性制造系统的子系统组成不包括（）
物料需求计划MRP中的计划交付量和计划投放量的关系为（）
