什么是SOS，名词解释定义是？

名词解释SOS

蓝宝石上硅或者尖晶石的衬底上进行硅的异质外延。

1.名词解释分子束外延（MBE）

在超高真空下，利用薄膜组分元素受热蒸发所形成的原子或分子数，直接射到沉底表面，形成外延层。

2.名词解释自掺杂效应

3.名词解释扩散效应

衬底杂质与外延层杂质相互扩散，导致界面处杂志再分布的现象。

4.名词解释异质外延

外延层与沉底的材料不同。

5.名词解释同质外延

外延层与沉底的材料相同。

6.名词解释外延片

生长了外延层的衬底硅片。

7.名词解释外延层

衬底上新生长的单晶层。

8.名词解释外延

在单晶衬底上按衬底晶向生长一层新的单晶薄膜的工艺技术。

9.名词解释保形覆盖

所有图形上淀积的薄膜厚度相同；也称共性覆盖。

10.名词解释PECVD（等离子增强CVD）

RF激活气体分子（等离子体），使其在低温（室温）下发生化学反应，淀积成膜。