问答题

【简答题】何为电子能量损失谱（EELS）？

答案：当入射电子束打到薄膜样品后，和固体薄膜中的原子发生相互作用，电子束将显现特征能量损失，从而获得固体薄膜中原子相互作用信息...

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【简答题】薄膜成核生长阶段的高聚集来源于哪些原因？

答案：（1）高的沉积温度；
（2）气相原子的高的动能，对于热蒸发意味着高沉积率；
（3）气相入射的角度增加...