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CVD沉积温度高,而且沉积后要进行淬、回火处理,使得工件的变形增大。
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利用CVD法沉积TiN的最佳温度范围是900~1200℃。
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TiC在高碳钢、高合金钢上的沉积速度比低碳钢、低合金钢慢。
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