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激发-松弛碰撞
答案:
当电子和原子或者分子碰撞时,电子没有脱离核的束缚,而是跃迁到更高的能级叫激发。处于激发状态的电子落回到基态或者最低能级叫...
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离子化碰撞
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当电子和原子或者分子碰撞时,会将部分能量传递到受原子核或分子核束缚的轨道上。
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问答题
【简答题】简述半导体工艺中等离子体最重要的三种碰撞
答案:
离子化碰撞、激发-松弛碰撞、分解碰撞
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