干涉法；水平面法。
在加工过程中实时进行误差检测，并随后紧接着进行误差补偿，即在线检测误差补偿。
工件加工完毕后，从机床上取下，在机床旁或在检测室中进行的检测。
最新试题
简述微小尺寸加工和一般尺寸加工的区别。
简述超精密加工技术中空气轴承的优缺点。
简述三种检测法含义及优缺点。
精密加工和超精密加工包括哪些内容？
ELID
简述微刃的等高切削作用。
超精密磨削
金刚石刀具的固定方法包括（）、（）和使用（）。
简述微刃的微切削作用。
好磨难磨方向：习惯上把高磨削率方向成为（），把低磨削率方向称为（）。
