超精密机床主轴和轴承的材料选取原则是什么？

超精密切削时积屑瘤的生成规律：在（）时，h0值比较稳定；在（）时值不稳定。

精密加工和超精密加工包括哪些内容？

机床主轴和轴承材料选取应考虑哪些因素？

纳米级加工精度包含哪些？

简述微小尺寸加工和一般尺寸加工的区别。

单晶金刚石的前面应选用（）晶面。

什么是离线检测？

镜面：粗糙度值（）的超光滑表面。

简述三种检测法含义及优缺点。