扫描电镜像的衬度根据其形成的依据,可分为:形貌村度、原子序数衬度、电压衬度。
(1)质厚衬度:适用于非晶体薄膜和复形膜试样所成的图像解释; (2)衍射衬度和相位衬度:适用于晶体薄膜试样所成图像的解释。
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