问答题

【简答题】磁控靶表面的磁场强度是多少？

答案：水平磁场的强度约300-500GS。电子在靶表面做旋轮线运动，其旋轮半径，磁场的大小应使r大小落在靶表面的阴极位降范围，...

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【简答题】磁控溅射典型的工艺参数？

答案：

工作压力0.5Pa，靶电压300-600V，靶电流密度20mA/cm²，沉积速率2μm/min。

【简答题】什么是离子束溅射？

答案：将离子产生的区域与溅射沉积的区域分开。离子产生在较高的压力下，再将其引入到真空度高的区域进行溅射沉积，这样既可以避免放电...