判断题

CVD是应用气态物质在固体上产生化学反应和传输反应等并产生固态沉积物的一种工艺。

答案：正确

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多项选择题

下列工艺属于外延生长技术的是（）。

A.分子束外延
B.液相外延
C.CVD
D.离子束外延

单项选择题

将特定的杂质原子渗入硅材料中间的过程叫做（）。

A.刻蚀
B.渗透
C.扩散
D.互联