1.电阻率的减小。 2.减小了功耗。 3.更高的集成密度。 4.良好的抗电迁徙性能。 5.更少的工艺步骤。
1.离子源 2.引出电极和离子分析器 3.加速管 4.扫描系统 5.工艺室
1.对下层栅氧化层具有高的选择比 2.非常好的均匀性和可重复性。 3.高度的各向异性
最新试题
化学机械抛光液的主要成分不包括的是哪个?()
下面哪些元素属于半径较小的杂质原子?()
鸟嘴效应造成的不良影响有()。
多层陶瓷基板多层化的方法包括()。
消除鸟嘴效应的方法有()。
下面哪个选项不是集成电路工艺用化学气体质量的指标?()
硅暴露在空气中,在室温下即可产生二氧化硅层,厚度约为()。
光刻工艺对准误差包括()。
封装工艺中,银浆固化的温度为()。
注入损伤与注入离子的以下哪个参数无关?()