判断题

划片后晶圆清洗时离子风枪口与晶圆距离应保持在15±5cm。

答案：错误

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贴片时，在工作台上需垫一张平整的滤纸后在贴片。

答案：正确

来料晶圆表面有杂质颗粒时，使用气枪吹，气枪口距离晶圆至少15cm。

答案：正确