问答题

【简答题】坩埚喷氮化硅在DSS运行中的作用是什么？

答案：隔离硅液与坩埚直接接触以防发生溢流；硅锭出炉后更容易与坩埚分开。

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【简答题】TC1、TC2和TCOT的作用是什么？

答案：

T.C1：测炉腔内实际温度；
T.COT：超高温报警；
T.C2：用于测量DS-BLOCK温度。

【简答题】硅锭编号定义是什么？如下硅锭号0102201是否正确，如不正确请解释，如正常请说明代表意义。

答案：

正确。硅锭编号定义如下：