多项选择题

下列关于ICP焰矩装置的说法正确的是()

A.工作气体常采用氩气
B.高频电流通过感应线圈时,产生平行于线圈平面的高频磁场
C.矩管由三个同轴的石英管组合而成
D.工作气体要求具有良好的激发性能

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